微電子本科教學平臺主要為微電子專業(yè)學生培養(yǎng)半導體器件物理的參數(shù)特性測試而設(shè)計的實驗。通過測試Wafer裸芯片Die,學生可以掌握基本的MOSFET,BJT,DIODE等器件的電學性能及工作原理。
可以測試參數(shù)有:
IV參數(shù):BVdss,Vth,Vgs,Ids,Rds輸入輸出特性曲線,轉(zhuǎn)移曲線等
CV參數(shù):Cox,t,Ciss,C-V特性曲線,QSCV,HFCV曲線,摻雜濃度等
測試平臺:由Keysight B1500A半導體器件分析儀及MPS-150B手動分析探針臺構(gòu)成