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6英寸手動探針臺MPS150A
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6英寸手動探針臺MPS150A


應(yīng)用方向：

MPS150A主要用于基本的MOSFET、CMOS片、GaN芯片、RF芯片、有機(jī)器件、OLED等的IV,CV,S阻抗參數(shù)測試測量。廣泛應(yīng)用于高校微電子教學(xué)及科研、實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析、材料器件測試。


訂購熱線：18502873311
產(chǎn)品詳情


    臺面規(guī)格:

    探針臺臺面平整度：5μm。

    探針臺可以控制臺面快速上下升降6mm，加裝探針卡點(diǎn)測wafer時(shí)方便對die的重選擇。

    探針臺右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿，搖動時(shí)可使臺面線性上下升降，升降范圍25mm，精度1μm。加裝探針卡點(diǎn)測wafer時(shí)方便對die的定位。

                                                 

    載片臺或吸盤規(guī)格:

    平整度：5μm，采用真空吸附方式，真空吸附孔的中心孔徑從250μm-1mm，最小吸住尺寸為0.3mmX0.3mm的樣品，更大為150mm直徑

    可360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕。


    技術(shù)指標(biāo)：

    可測試Wafer尺寸：2英寸~6英寸

    Chuck XY向行程：160mm*160mm

    Chuck移動分辨率：旋鈕調(diào)節(jié)

    Chuck旋轉(zhuǎn)范圍： ±5°微調(diào)，360°粗調(diào)

    Chuck Z向接觸分離：1mm

    Chuck 真空： 分三檔輸入

    臺面Z向行程：30mm,接觸分離1mm

    上下片方式：快速抽拉上下片

    視頻顯示系統(tǒng)：體式顯微鏡加裝CCD

    顯微鏡基座可移動范圍：50mm*50mm



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