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6英寸簡(jiǎn)易探針臺(tái)MPS150SV
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  • 6英寸簡(jiǎn)易探針臺(tái)MPS150SV

6英寸簡(jiǎn)易探針臺(tái)MPS150SV

MPS150SV是經(jīng)濟(jì)型探針臺(tái)解決方案，適合需要在短的時(shí)間內(nèi)  對(duì)半導(dǎo)體元器件及材料、晶圓片進(jìn)行IV/CV測(cè)試的用戶使用。結(jié)合半導(dǎo)體器件分析儀可作為實(shí)驗(yàn)室的器件分析測(cè)試平臺(tái)。
MPS150SV  探針臺(tái)為保護(hù)樣片測(cè)量周期內(nèi)高質(zhì)量的接觸，通過非常 穩(wěn)定的系統(tǒng)平臺(tái)設(shè)計(jì)，完美的振動(dòng)隔離方案，能夠讓用戶取得想要  的測(cè)量精度。工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)探針座經(jīng)過優(yōu)化光學(xué)和無(wú)反向間隙X-Y-Z移 動(dòng)，接觸分離驅(qū)動(dòng)達(dá)到1μm重復(fù)性，相對(duì)于半自動(dòng)探針臺(tái)探針座擺  放更加精密。高質(zhì)量的三同軸信號(hào)線纜保證測(cè)試特性電流達(dá)到fA級(jí)別低噪聲。
載片臺(tái)可提供加熱變溫選件，讓器件測(cè)試更加容易。載片臺(tái)XY移動(dòng)可單手調(diào)節(jié)操作,  高度平整的表面及可移動(dòng)性，讓初學(xué)者和用戶容易操作上手。

訂購(gòu)熱線：18502873311
產(chǎn)品詳情

    測(cè)試參數(shù)：IV,CV,S參數(shù)，阻抗參數(shù)

    配合儀器：B1500A半導(dǎo)體器件分析儀,B2900A  源測(cè)量單元,E4980A LCR表,E5071C阻抗分析儀，N5245A矢網(wǎng)等

    技術(shù)指標(biāo):
    可測(cè)試Wafer尺寸：2英寸~6英寸
    Chuck  XY向行程：160mm*160mm
    Chuck移動(dòng)分辨率：旋鈕調(diào)節(jié)
    Chuck旋轉(zhuǎn)范圍：  ±5°微調(diào)，360°粗調(diào)
    Chuck  Z向接觸分離：1mm
    Chuck 真空：  分三檔輸入
    臺(tái)面Z向行程：10mm,接觸分離1mm
    上下片方式：手動(dòng)旋鈕式
    視頻顯示系統(tǒng)：雙目體式顯微鏡標(biāo)配(45X)LED環(huán)形燈,  選配CCD工業(yè)相機(jī)，實(shí)時(shí)芯片圖像
    顯微鏡機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié):  XY向±25mm，Z向±35mm
    遮光屏蔽罩：選配
    探針：直流鎢針、射頻微波探針
    探針座：精密千分尺結(jié)構(gòu)，X,Y,Z三向可調(diào)節(jié)，磁力座
    外形尺寸：610mm×560mm×500mm（長(zhǎng)×寬×高）
    設(shè)備重量: 約40  KG
    使用環(huán)境：電源220VAC，功率0.05kW，真空-80kPa，環(huán)境溫度15oC~30oC，相對(duì)濕度＜60%


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