4英寸手動(dòng)探針臺(tái)MPS100S

MPS100S探針臺(tái)設(shè)計(jì)具有可升級(jí)和擴(kuò)展性，例如可升級(jí)阻抗測(cè)量（配合阻抗分析儀E5061B），電容測(cè)試可達(dá)fF級(jí)別,保護(hù)用戶的一次性投資

技術(shù)指標(biāo):
可測(cè)試Wafer尺寸：2英寸~4英寸
Chuck XY向行程：100mm*100mm
Chuck移動(dòng)分辨率：旋鈕調(diào)節(jié)
Chuck旋轉(zhuǎn)范圍： ±5°微調(diào)，360°粗調(diào)
臺(tái)面接觸分離: 1mm
Chuck漏電:<100fA
上下片方式：手動(dòng)旋鈕式
視頻顯示系統(tǒng)：雙目體式顯微鏡標(biāo)配(45X)LED環(huán)形燈, 選配CCD工業(yè)相機(jī)，實(shí)時(shí)芯片圖像
顯微鏡機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié):XY向±25mm，Z向±35mm
遮光屏蔽罩：選配
探針：直流鎢針、射頻微波探針
探針座：精密千分尺結(jié)構(gòu)，X,Y,Z三向可調(diào)節(jié)，磁力座

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產(chǎn)品詳情

應(yīng)用方向：高校微電子教學(xué)及科研、實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析、材料器件測(cè)試

測(cè)試器件類型：光電芯片、GaN芯片、RF芯片、有機(jī)器件、OLED等

測(cè)試參數(shù)：IV,CV,阻抗參數(shù)

配合儀器：B1500A半導(dǎo)體器件分析儀,B2900A 源測(cè)量單元,E4980A LCR表,E5071C阻抗分析

MPS100S是精密4英寸探針臺(tái)解決方案，適合需要在短的時(shí)間內(nèi)對(duì)半導(dǎo)體元器件、材料、薄膜器件、晶圓片進(jìn)行IV測(cè)試的用戶使用。結(jié)合半導(dǎo)體器件分析儀及源表可作為實(shí)驗(yàn)室的器件分析測(cè)試平臺(tái)。
MPS100S探針臺(tái)為保護(hù)樣片測(cè)量周期內(nèi)高質(zhì)量的接觸，非常穩(wěn)定的系統(tǒng)平臺(tái)設(shè)計(jì)，完美的振動(dòng)隔離方案，讓用戶取得想要的測(cè)量精度。工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)探針座帶磁性吸附底座和無反向間隙X-Y-Z移動(dòng)，分辨率<2μm，接觸分離驅(qū)動(dòng)達(dá)到1μm重復(fù)性。高質(zhì)量的三同軸信號(hào)線纜保證測(cè)試特性電流達(dá)到fA級(jí)別。
低噪聲的載片臺(tái)可提供加熱選件，讓器件測(cè)試更加容易載片臺(tái)采用快速推拉式設(shè)計(jì)?？蓡问终{(diào)節(jié)操作, 高度平整的表面及可移動(dòng)性，讓初學(xué)者和用戶容易操作上手。

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