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高溫探針臺(tái)MPA150A-HT
  • 高溫探針臺(tái)MPA150A-HT

高溫探針臺(tái)MPA150A-HT

技術(shù)指標(biāo):

可測(cè)試Wafer尺寸：2英寸~6英寸

變溫范圍：常溫~300℃

Chuck XY向行程：160mm*160mm
Chuck移動(dòng)分辨率：旋鈕調(diào)節(jié)
Chuck旋轉(zhuǎn)范圍： ±5°微調(diào)，360°粗調(diào)
Chuck Z向接觸分離：1mm
Chuck 真空： 分三檔輸入
臺(tái)面Z向行程：30mm,接觸分離1mm
上下片方式：快速抽拉上下片
視頻顯示系統(tǒng)：雙目體式顯微鏡標(biāo)配(45X)LED環(huán)形燈,  選配CCD工業(yè)相機(jī)，實(shí)時(shí)芯片圖像
顯微鏡機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié):XY向±25mm，Z向±35mm
遮光屏蔽罩：選配
探針：直流鎢針、射頻微波探針
探針座：精密千分尺結(jié)構(gòu)，X,Y,Z三向可調(diào)節(jié)，磁力座
外形尺寸：610mm×560mm×500mm（長(zhǎng)×寬×高）
設(shè)備重量: 約40 KG
使用環(huán)境：電源220VAC，功率0.05kW，真空-80kPa，環(huán)境溫度15oC~30oC，相對(duì)濕度＜60%

訂購(gòu)熱線：18502873311
產(chǎn)品詳情

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