室溫自動探針臺
室溫環(huán)境下的自動探針臺,多用于晶圓的自動測量。提供4寸至8寸的不同規(guī)格,4到8個...
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18502873311應(yīng)用方向:
PD/APD芯片參數(shù)篩選測試,GaAs射頻芯片S參數(shù)測試,MEMS晶圓管芯篩選測試等。
技術(shù)指標:
l控溫范圍:-55°C~300°C
lWaferMap圖描述:實時掃描Wafer并對Die圖像對準
lChuck控制:AutoMap軟件或經(jīng)典鍵盤多向操控Chuck移動
lWafer圖形模式:圓形、陣列、環(huán)形、探邊多種形式式,可自定義學習模式。
lDie坐標查詢:實時顯示更新Die相對坐標
l打點方式:噴墨,離線打點、異步打點
l探邊功能:自動探測Wafer邊緣并跳行
l測試接口:TTL電平、RS232、GPIB、以太網(wǎng)
l支持探針:直流鎢探針、RF探針、高壓探針,大電流探針
l支持儀器:B1505A,B1500A,E4980A, E5071C等
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應(yīng)用方向:PD/APD芯片參數(shù)篩選測試,GaAs射頻芯片S參數(shù)測試,MEMS晶圓...