室溫自動探針臺
室溫環(huán)境下的自動探針臺,多用于晶圓的自動測量。提供4寸至8寸的不同規(guī)格,4到8個...
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18502873311應用:
PD/APD芯片IV及電容參數(shù)篩選測試。
功能:
Wafer Map圖描述:通過工業(yè)相機,采用圖像算法實時掃描WaferMap圖,并自動對Die進行對準識別扎針;
Chuck控制: AutoMap軟件和經(jīng)典鍵盤多向操控Chuck移動;
Wafer圖形模式:圓形、陣列、環(huán)形、探邊、自定義圖形模式;
打點方式:自動噴墨、離線打點、異步打點;
Die坐標查詢:實時顯示更新Die相對坐標;
測試接口:TTL電平、RS232、GPIB、以太網(wǎng)等多種接口;
數(shù)據(jù)報告:csv、html、excel、db等;
自動化軟件:ATE2000測試軟件、AutoMap探針臺軟件。
配置:
APS1500:高速6英寸半自動探針臺
IV測試:2600B、B2900A系列SMU
電容測試:E4980A、4284A
激光光源:850nm,1310nm,1550nm可選
SR-DT10:噴墨打點器,進口
SR-L10:光纖耦合探針座
SR-CCD:圖像采集套件,可實時觀察探針視頻圖像
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