室溫自動探針臺
室溫環(huán)境下的自動探針臺,多用于晶圓的自動測量。提供4寸至8寸的不同規(guī)格,4到8個...
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室溫自動探針臺是為較低預(yù)算客戶研發(fā)的高可靠性探針臺系統(tǒng),主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子,電子,機電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機電/MEMs,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
旨在預(yù)算與高測量可靠性之間尋求平衡點,該平臺配備高精度位移臺,可實現(xiàn)X、Y、Z、R等方向自動調(diào)整,各移動軸可實現(xiàn)±0.005mm以下的精度定位,對陣列型測量特征可實現(xiàn)快速準(zhǔn)確的測量。經(jīng)濟實用,穩(wěn)定性強,可升級擴展,操作方便是本產(chǎn)品的核心價值,在各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用廣泛。
室溫自動探針臺產(chǎn)品參數(shù)
型號 | TZ-H-06 |
外形 | 444*607*646 |
重量 | 40kg |
X-Y軸行程定位精度 | ±0.01mm |
Z軸行程定位精度 | ±0.01mm |
R軸行程定位精度 | ±0.05? |
測試直徑 | 6/8/12寸 |
X-Y軸行程 | 110mm |
Z軸行程 | 15mm |
R軸行程 | 360? |
X-Y軸額定速度 | 100mm/s |
Z軸額定速度 | 10mm/s |
R額定速度 | 20?/s |
探針臂調(diào)節(jié)行程 | X-50mm,Y-50mm,Z-30mm |
探針臂調(diào)節(jié)精度 | 10um |
探針臂 | 每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針,樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜 |
顯微鏡倍率 | 4X~9X(使用1X附加物鏡時) |
地腳 | 底部塑膠減震地腳 |
探針頻率 | 26GHz—100GHz(可選) |
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