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室溫自動探針臺

室溫自動探針臺

室溫環(huán)境下的自動探針臺,多用于晶圓的自動測量。提供4寸至8寸的不同規(guī)格,4到8個探針臂。

訂購熱線:18502873311
產(chǎn)品詳情

     

    加磁場.png可加磁場

    室溫自動.png

     

    室溫自動探針臺是為較低預(yù)算客戶研發(fā)的高可靠性探針臺系統(tǒng),主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子,電子,機電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機電/MEMs,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設(shè)計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

    旨在預(yù)算與高測量可靠性之間尋求平衡點,該平臺配備高精度位移臺,可實現(xiàn)X、Y、Z、R等方向自動調(diào)整,各移動軸可實現(xiàn)±0.005mm以下的精度定位,對陣列型測量特征可實現(xiàn)快速準(zhǔn)確的測量。經(jīng)濟實用,穩(wěn)定性強,可升級擴展,操作方便是本產(chǎn)品的核心價值,在各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用廣泛。

    室溫自動探針臺產(chǎn)品參數(shù)

    型號TZ-H-06
    外形444*607*646
    重量40kg
    X-Y軸行程定位精度±0.01mm
    Z軸行程定位精度±0.01mm
    R軸行程定位精度±0.05?
    測試直徑6/8/12寸
    X-Y軸行程110mm
    Z軸行程15mm
    R軸行程360?
    X-Y軸額定速度100mm/s
    Z軸額定速度10mm/s
    R額定速度20?/s
    探針臂調(diào)節(jié)行程X-50mm,Y-50mm,Z-30mm
    探針臂調(diào)節(jié)精度10um
    探針臂每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針,樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜
    顯微鏡倍率4X~9X(使用1X附加物鏡時)
    地腳底部塑膠減震地腳
    探針頻率26GHz—100GHz(可選)

     


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