室溫自動(dòng)探針臺(tái)
室溫環(huán)境下的自動(dòng)探針臺(tái),多用于晶圓的自動(dòng)測量。提供4寸至8寸的不同規(guī)格,4到8個(gè)...
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18502873311應(yīng)用方向:
PD/APD芯片參數(shù)篩選測試,GaAs射頻芯片S參數(shù)測試,MEMS晶圓管芯篩選測試等。
技術(shù)指標(biāo):
l控溫范圍:-55°C~300°C
lWaferMap圖描述:實(shí)時(shí)掃描Wafer并對Die圖像對準(zhǔn)
lChuck控制:AutoMap軟件或經(jīng)典鍵盤多向操控Chuck移動(dòng)
lWafer圖形模式:圓形、陣列、環(huán)形、探邊多種形式式,可自定義學(xué)習(xí)模式。
lDie坐標(biāo)查詢:實(shí)時(shí)顯示更新Die相對坐標(biāo)
l打點(diǎn)方式:噴墨,離線打點(diǎn)、異步打點(diǎn)
l探邊功能:自動(dòng)探測Wafer邊緣并跳行
l測試接口:TTL電平、RS232、GPIB、以太網(wǎng)
l支持探針:直流鎢探針、RF探針、高壓探針,大電流探針
l支持儀器:B1505A,B1500A,E4980A, E5071C等
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應(yīng)用方向:PD/APD芯片參數(shù)篩選測試,GaAs射頻芯片S參數(shù)測試,MEMS晶圓...